CyberOptics lanciert neue Airborne Particle Sensor Technology (Sensortechnologie für Schwebestaub) für größere Präzision und Vielseitigkeit

06/10/2015 - 17:29 von Business Wire

CyberOptics lanciert neue Airborne Particle Sensor Technology (Sensortechnologie für Schwebestaub) für größere Präzision und VielseitigkeitDas Unternehmen wird auch einen "All-in-One"-Sensor vorstellen: Spart Zeit und Kosten und liefert zugleich bessere Ergebnisse.

CyberOptics® Corporation (NASDAQ:CYBE), ein führender globaler Entwickler und Hersteller hochpräziser 3D-Sensortechnologielösungen, präsentiert seine „Airborne Particle Sensor (APS)“-Technologie der nächsten Generation, APS2, sowohl in WaferSense®- als auch ReticleSense®-Formfaktoren auf der SEMICON Europa in Dresden vom 6. bis 8. Oktober 2015 am Stand Nr. 1124. Damit wird die Technologie noch empfindlicher, genauer und vielseitiger.

Die Schwebestaubsensoren von CyberOptics verbessern das Geräte-Setup und die langfristigen Resultate in Halbleiter-Fabriken, indem sie den Schwebestaub in Echtzeit drahtlos überwachen. Diese APS2 der nächsten Generation bietet:

  • Verbesserte Genauigkeit: Eine Verbesserung um 80 Prozent mit 5 anstatt 25 Falschzählungen/Stunde
  • Erhöhte Empfindlichkeit: Messung von noch kleineren Partikeln bis hin zu 0,14 Mikron
  • Größere Einsatzvielfalt: Dünner und leichter Formfaktor, der durch praktisch alle Werkzeuge dringt

„Die Technologie führt zu größerer Präzision“, erklärte Dr. Subodh Kulkarni, Präsident und Chief Executive Officer von CyberOptics. „Wir bieten den Halbleiterfabriken und Originalausrüstern (OEMs) einen noch höheren Nutzen, indem wir eine Technologie weiterentwickeln, auf die sie sich schon seit einiger Zeit verlassen haben, um Kosten zu sparen und Ergebnisse zu verbessern.“

Die neue APS2-Lösung überwachtund erkennt Schwebestaubpartikel einer Größe von 0,14 Mikrometer innerhalb von Halbleiterprozessanlagen und automatisierten Materialabwicklungssystemen und erlaubt die Störungsbeseitigung. Die APS2-Technologie identifiziert schnell, wann und wo die Partikel herkommen und beschleunigt die Qualifizierung einer Einrichtung mit Hilfe drahtloser Messungen, verkürzt die Gerätewartungszeiten mit wafer-ähnlichen und retiklen Formfaktoren und senkt Gerätekosten, indem sie objektive und reproduzierbare Daten bereitstellt.

Auf der SEMICON Europa wird CyberOptics auch seine neuen WaferSense und ReticleSense Auto-Multi-Sensoren (AMS/AMSR) vorstellen, die Abtragung, Vibration und Luftfeuchtigkeit in einem drahtlosen „All-in-one“-Echtzeitgerät messen können. Aufgrund seines dünnen und leichten Formfaktors kann der AMS durch praktisch alle Werkzeuge dringen und der AMSR kann mehrere Messungen an allen Stellen der Fadenkreuzumgebung erfassen. Die „All-in-one“-Geräte stellen eine weitere Möglichkeit zur Verbesserung der Ergebnisse und zur Verringerung der Ausfallzeit in Halbleiterumgebungen dar.

Über die WaferSense- und ReticleSense-Produktreihen von CyberOptic

Das WaferSense-Messgeräteportfolio mit dem Auto Leveling System (ALS), dem Auto Gapping System (AGS), dem Auto Vibration System (AVS), dem Auto Teaching System (ATS) und dem Airborne Particle Sensor (APS) der nächsten Generation des Schwebestaubsensors (APS2) und die neuen Auto Multi Sensoren (AMS) sind in verschiedenen „waferförmigen“ Formfaktoren, einschließlich 150 mm, 200 mm, 300 mm und 450 mm Wafergröße erhältlich. Das ReticleSense Messungsportfolio, einschließlich des Schwebestaubsensors (APSR & APSRQ) und des APS2 der nächste Generation, das „Auto Leveling System (ALSR)“ und der neue Auto-Multisensor (AMSR) sind in einem fadenkreuzartigen Formfaktor erhältlich.

Weitere Informationen zur gesamten CyberOptics-Produktreihe finden Sie auf der Website des Unternehmens unter www.cyberoptics.com.

Über CyberOptics

CyberOptics Corporation (NASDAQ: CYBE) ist ein weltweit führender Entwickler und Hersteller hochpräziser Sensortechnik-Lösungen. CyberOptics-Sensoren werden in allgemeinen Messtechnik- und 3D-Scan-Anwendungen, in oberflächenmontierter Technik (Surface Mount Technology, SMT) und in der Halbleiterindustrie eingesetzt, um die Ausbeute und Produktivität wesentlich zu verbessern. Dank seiner ultramodernen Technologien hat sich CyberOptics als weltweiter Marktführer im Bereich hochpräziser 3D-Sensoren etabliert und ist strategisch positioniert, um die wichtigen vertikalen Segmente des Unternehmens noch stärker zu durchdringen. CyberOptics hat seinen Hauptsitz in Minneapolis im US-Bundesstaat Minnesota und unterhält weltweit Betriebe in Nordamerika, Asien und Europa.

Angaben in Bezug auf die voraussichtliche Leistung des Unternehmens sind zukunftsgerichtete Aussagen und unterliegen gewissen Risiken und Ungewissheiten, unter anderem: Marktbedingungen in der weltweiten SMT- und Halbleiter-Ausrüstungsindustrie, steigender Preiswettbewerb und Preisdruck auf unserer Umsatzseite, insbesondere bei unseren SMT-Systemen, der Auftragseingang von unseren OEM-Kunden, die Verfügbarkeit von Teilen, die zur Auslieferung von Aufträgen erforderlich sind, unvorhergesehene Schwierigkeiten in der Produktentwicklung, die Auswirkung globaler Ereignisse auf unseren Umsatz, insbesondere im Zusammenhang mit ausländischen Kunden, rapide Technologieänderungen am Elektronikmarkt, Produkteinführungen und Preise der Konkurrenz, der Erfolg unserer 3D-Technologie-Initiativen, Erwartungen hinsichtlich LDI und die Auswirkung auf unseren Betrieb, Integrationsrisiken in Verbindung mit LDI und andere Faktoren, die in den bei der US-Börsenaufsicht Securities and Exchange Commission (SEC) eingereichten Unterlagen des Unternehmens dargestellt werden.

Alle Marken- oder Produktnamen sind Warenzeichen der jeweiligen Unternehmen.

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lisa@graupr.com
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CyberOptics
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cpihowich@cyberoptics.com


Source(s) : CyberOptics Corporation

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