CyberOptics präsentiert erprobte Methodik zur Identifizierung und Lösung von Problemen im Zusammenhang mit luftgetragenen Partikeln auf EMLC 2015

22/06/2015 - 13:57 von Business Wire
CyberOptics präsentiert erprobte Methodik zur Identifizierung und Lösung von Problemen im Zusammenhang mit luftgetragenen Partikeln auf EMLC 2015

CyberOptics® Corporation (NASDAQ: CYBE), ein weltweit führender Entwickler und Hersteller hochpräziser 3D-Sensortechnik wird bei der 31. European Mask and Lithography Conference (EMLC) vortragen. Die Konferenz findet am 22. und 23. Juni 2015 in Eindhoven im Hotel Pullman statt. Der Schwerpunkt der zweitägigen Konferenz liegt auf der Wissenschaft, Technologie, technischen Planung und Anwendung von Masken- und Lithographie-Techniken sowie der damit verbundenen Prozesse.

Allyn Jackson, Anwendungstechniker bei CyberOptics, wird Erkenntnisse, beste Vorgehensweisen und technisches Knowhow in Bezug auf die rasche Identifizierung und Lösung von Problemen mit Partikeln in Photo-Lithographie-Umgebungen präsentieren. Poster-Sessions finden am Montag, dem 22. Juni 2015 von 17:30 bis 18:40 Uhr in der Winteruin Hall im Rahmen der Technical Exhibition statt.

„Die Minimierung luftgetragener Partikel bei Lithographie-Anwendungen ist mit herkömmlichen Oberflächenscan-Retikel, In-situ- oder Hand-Verfahren schwierig. Veralteten Methoden wie diesen mangelt es an Echtzeit-Feedback, so dass unerwartete Partikelquellen oft Stunden oder sogar Tage unentdeckt bleiben, bevor sie endlich identifiziert werden“, erklärte Jackson. „CyberOptics wird die Vorteile der Verwendung eines drahtlosen rasterförmigen Partikelzählers daraufhin überprüfen, ob sich die Methode hinsichtlich der raschen Identifizierung und Ortung luftgetragener Partikel sowie Echtzeit-Problembehebung als effizienter und effektiver erweist.“

CyberOptics ReticleSense® Airborne Particle Sensor Quartz (APSRQ) wurde für den Einsatz mit Scannern und Stepper in Halbleiterfertigungsanlagen entwickelt und verfügt über alle nötigen Ausrichtungsmerkmale und Strichcodes für eine umfassende Kompatibilität. Der APSRQ kann genau wie ein Quarz-Retikel direkt in einen Scanner eingesetzt werden und das gesamte Raster absuchen, um in Echtzeit aufzuspüren, wann und wo Partikel auftreten.

Die Lithographie-Ingenieure können auf die von CyberOptics entwickelte ReticleSense-Technologie zurückgreifen, eine Erweiterung des bewährten waferförmigen WaferSense® Airborne Particle Sensor (APS), der in Halbleiterfertigungsanlagen weltweit zur Anwendung kommt, unter anderem bei den drei größten Herstellern, wo eine kontaminationsfreie Umgebung unabdingbar ist.

WaferSense- und ReticleSense-Airborne-Particle-Sensoren ermöglichen es Anlagenbauern, die Gerätequalifizierungs-, Produktionsfreigabe- und Wartungszyklen zu verkürzen und gleichzeitig die Kosten zu senken. Beim Einsatz der WaferSense- und ReticleSense-Sensoren beobachten Kunden gegenüber veralteten Oberflächenscan-Wafer-Verfahren eine Zeiteinsparung von bis zu 88 Prozent, eine Kostensenkung von bis zu 95 Prozent und einen bis zu 20-fach gesteigerten Durchsatz, und dies bei der Hälfte der Personalbedarfs.

Über die WaferSense- und ReticleSense-Produktreihe

Das WaferSense-Messgeräteportfolio mit dem Auto Leveling System (ALS), dem Auto Gapping System (AGS), dem Auto Vibration System (AVS), dem Auto Teaching System (ATS) und dem Airborne Particle Sensor (APS) ist jetzt in Wafergrößen von 200 mm, 300 mm und 450 mm erhältlich. Zusätzlich dazu sind APS und ALS in 150-mm-Größen verfügbar. Der ReticleSense Airborne Particle Sensor (APSR), das ReticleSense Auto Leveling System (ALSR) und der neue ReticleSense Airborne Particle Sensor Quartz (APSRQ) sind in rasterförmiger Ausführung erhältlich.

Weitere Informationen zur gesamten CyberOptics-Produktreihe finden Sie auf der Website des Unternehmens unter www.cyberoptics.com.

Über CyberOptics

CyberOptics Corporation (NASDAQ: CYBE) ist ein weltweit führender Entwickler und Hersteller hochpräziser Sensortechnik-Lösungen. CyberOptics-Sensoren werden in allgemeinen Messtechnik- und 3D-Scan-Anwendungen, in oberflächenmontierter Technik (Surface Mount Technology, SMT)  und  in der Halbleiterindustrie eingesetzt, um die Ausbeute und Produktivität wesentlich zu verbessern. Dank seiner ultramodernen Technologien hat sich CyberOptics als weltweiter Marktführer im Bereich hochpräziser 3D-Sensoren etabliert und ist strategisch positioniert, um die wichtigen vertikalen Segmente des Unternehmens noch stärker zu durchdringen. CyberOptics hat seinen Hauptsitz in Minneapolis im US-Bundesstaat Minnesota und unterhält weltweit Betriebe in Nordamerika, Asien und Europa.

Angaben in Bezug auf die voraussichtliche Leistung des Unternehmens sind zukunftsgerichtete Aussagen und unterliegen gewissen Risiken und Ungewissheiten, einschließlich, aber nicht darauf beschränkt: Marktbedingungen in der weltweiten SMT- und Halbleiter-Ausrüstungsindustrie, steigender Preiswettbewerb und Preisdruck auf unserer Umsatzseite, insbesondere bei unseren SMT-Systemen, der Auftragseingang von unseren OEM-Kunden, die Verfügbarkeit von Teilen, die zur Auslieferung von Aufträgen erforderlich sind, unvorhergesehene Schwierigkeiten in der Produktentwicklung, die Auswirkung globaler Ereignisse auf unseren Umsatz, insbesondere im Zusammenhang mit ausländischen Kunden, rapide Technologieänderungen am Elektronikmarkt, Produkteinführungen und Preise der Konkurrenz, der Erfolg unserer 3D-Technologie-Initiativen, Erwartungen hinsichtlich LDI und die Auswirkung auf unseren Betrieb, Integrationsrisiken im Zusammenhang mit LDI, Prognosen für ein Umsatzwachstum von mindestens 10 Prozent und ein Break-Even-Betriebsergebnis für 2015 sowie andere Faktoren, die in den bei der US-Börsenaufsicht Securities and Exchange Commission (SEC) eingereichten Unterlagen des Unternehmens dargestellt werden.

Alle Marken- oder Produktnamen sind Warenzeichen der jeweiligen Unternehmen.

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Lisa Grau, 760-207-9090
lisa@graupr.com
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CyberOptics
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cpihowich@cyberoptics.com


Source(s) : CyberOptics Corporation