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Duennfilmfertiger

21/11/2014 - 11:42 von Martin Laabs | Report spam
Hallo,

wer kann in Deutschland mehrlagige Duennfilmleiterplatten herstellen?
Ich suche etwas, was in Richtung BEOL Prozess geht, gerne etwas groessere
Strukturen (10um) und mindestens 4 Metalllagen. Meinetwegen auch auf
SI-Wafern. Die direkten Halbleiterprozesse gehen aber nicht, weil mir
da die Dielektrika zu duenn sind.
Die ganze PCB-Feinstleitersache geht nicht, weil das Metall so dick ist
und man dann eben keine 10um Leitungen geaetzt bekommt. Ausserdem moechten
die PCB-Fertiger gerne ihre Filme und keine Glasmasken benutzen.
Und die klassischen Duennfilmleute machen lieber nur eine oder zwei Lagen
auf Keramik.

Danke,
Martin Laabs
 

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#1 Joerg
21/11/2014 - 16:31 | Warnen spam
Martin Laabs wrote:
Hallo,

wer kann in Deutschland mehrlagige Duennfilmleiterplatten herstellen?
Ich suche etwas, was in Richtung BEOL Prozess geht, gerne etwas groessere
Strukturen (10um) und mindestens 4 Metalllagen. Meinetwegen auch auf
SI-Wafern. Die direkten Halbleiterprozesse gehen aber nicht, weil mir
da die Dielektrika zu duenn sind.
Die ganze PCB-Feinstleitersache geht nicht, weil das Metall so dick ist
und man dann eben keine 10um Leitungen geaetzt bekommt. Ausserdem moechten
die PCB-Fertiger gerne ihre Filme und keine Glasmasken benutzen.
Und die klassischen Duennfilmleute machen lieber nur eine oder zwei Lagen
auf Keramik.




Wenn Du gar nichts findest, frage mal hier, wo sie ihre Anlagen hinliefern:

http://www.evatec.nl/

Normalerweise sind solche Firmen sehr willig, Infos rauszugeben, weil
geschaeftsfoerdernd fuer alle Beteiligten.

Bei einem aktuellen Projekt haben wir mehrere Fertiger, wo das jeweils
von Spezi zu Spezi geschickt wird. Einer ist gut in Platinum Deposition,
der andere mit PECVD, poliert wird dann wieder woanders, Backgrinding
ebenfalls usw. Da haette ich Firmen, aber keine in Europa.

Gruesse, Joerg

http://www.analogconsultants.com/

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