LFoundry und Scannano bieten revolutionäre MEMS-Drucksensoren

09/04/2015 - 08:01 von Business Wire
LFoundry und Scannano bieten revolutionäre MEMS-Drucksensoren

Scannano und LFoundry meldeten heute eine strategische langfristige Partnerschaft für den Einsatz der revolutionären NANO-Technologien von Scannano in einer Vielzahl neuer Produktanwendungen. Die erste neue Produktreihe wird ein auf MEMS basierendes Portfolio von Drucksensoren sein.

Durch Nutzung von DVG-Verfahren (Deep Vacuum Gap) und Mikromembran-Nanotechnologien von Scannono bieten die neuen Drucksensoren eine beispiellos hohe Präzision und Miniaturisierung mit geringerem Energieverbrauch und Multifunktionsfähigkeit. Daher können die neuen Geräte zusammen mit „anwendungsspezifischen integrierten Schaltungen (Application-Specific Integrated Circuits, ASIC)” im Rahmen standardisierter CMOS-Prozesse auf demselben Chip hergestellt werden.

Das DVG-Verfahren wird zur Erzeugung eines winzigen Vakuumspalts mit äußerst hoher Präzision von ca. 1 nm genutzt. Anschließend wird der Spalt mit einer Messmembran kombiniert, um den auf die Membran ausgeübten Druck zu messen. Da die Deformation in einer Größenordnung von lediglich wenigen Nanometern erfolgt, können mit einem einzigen nanodimensionalen Gerät hohe Präzisionsgrade erzielt und aufgrund des geringeren Energieverbrauchs zudem andere Systeme auf demselben Chip integriert werden.

Anwendungen für die neuen Drucksensoren sind weit verbreitet, darunter über 100 Systeme im Rahmen einer Vielzahl von Produkten im Automobil- und Industriesektor. Diese monolithische Integration auf einem einzigen Chip ermöglicht hochmoderne Designs mit standardisierten CMOS-Prozessen. Automobilanwendungen können Sicherheitssysteme einschließen, wie Kollisionserkennung und Reifendruckmessungen sowie Rückmeldungen von Antriebssystemen, etwa Ansaug- und Turboladerdruck-Messwerte. Bei Industrieanwendungen können Gaszufuhrsysteme, Füllstandsmeldegeräte, Höhenanpassungssysteme und Wetterstationen integriert werden.

Designaktivitäten für Anwendungen wurden bereits eingeleitet und die Fertigung wird in der italienischen Betriebsstätte von Foundry in Avezzano unweit von Rom stattfinden.

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Über Scannano

Scannano ist ein privates, auf Nanotechnologie spezialisiertes Forschungs- und Entwicklungsunternehmen mit Sitz in Turku, Finnland.

Über LFoundry Srl

LFoundry Srl ist eine führende Spezial-Fertigungsstätte mit hochmodernen 200-mm-Herstellungskapazitäten und Schwerpunkt auf speziellen technischen Möglichkeiten und Kompetenzen für CMOS-Bildsensoren (Front- und Back-Side-Illumination-Technologie), integrierte Touch-Display-Controller, Mikrocontroller (sichere MCU, drahtlose und leistungsstarke MCU), Smart Power (PMIC, RF/Audio, Integrated Discretes), CMOS-integrierte MEMS. In jüngster Zeit erfolgte ein Wechsel an der Unternehmensspitze, der Hauptsitz wurde nach Avezzano in Italien und der Vertriebs- und FuE-Bereich nach Landshut in Deutschland verlegt. LFoundry Srl konzentriert sich auf die Bereitstellung modernster Analog-Fertigungsdienste mit einer Kapazität von mehr als 40.000 Wafern/Monat und innovativen Technologieerweiterungen, darunter 90-nm- und Kupfermetallisierungs-Massenproduktion. Eine hohe Priorität wird dabei auf Flexibilität und einen engen Kundenkontakt gelegt.

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Source(s) : LFoundry

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