SCREEN Semiconductor Solutions und IBM Research arbeiten bei fortschrittlicher Logik-Prozessforschung in Albany (New York) zusammen

12/10/2016 - 00:00 von Business Wire
SCREEN Semiconductor Solutions und IBM Research arbeiten bei fortschrittlicher Logik-Prozessforschung in Albany (New York) zusammen

SCREEN Semiconductor Solutions Co., Ltd. (SCREEN) bereitet sich auf die diesjährige Installation unseres ersten von drei wichtigen Tool-Sets im IBM Research (IBM) Albany Nanotech, Semiconductor Research Center vor. Das SCREEN-Portfolio aus Single-Wafer-Reinigungs- Glüh- und Beschichtungs-/Entwicklungssystemen unterstützt IBMs fortschrittliche Forschung in der Halbleitertechnologie und ist eine Ergänzung zum EUV Center of Excellence-Tool-Set in Albany im US-Bundesstaat New York.

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„IBM muss sich an einen ehrgeizigen Forschungsplan halten, der die Grenzen der Halbleitertechnologie sprengt“, sagte Mukesh Khare, Vice President der Semiconductor Group von IBM Research. „Innovative Materialien, Prozesse und Gerätestrukturen sind notwendig, um die technologische Forschung zu beschleunigen und die Anforderungen des Cloud-Computing und der kognitiven Systeme von morgen zu erfüllen.“

„Wir sind sehr erfreut, IBM bei der Forschung zu Halbleitern mit erweiterter Logik unterstützen zu dürfen“, meinte Tadahiro Suhara, Präsident von SCREEN Semiconductor Solutions. „Für uns ist dies ein Beweis dafür, wie wertvoll unsere SCREEN Gerätetechnologie und Ressourcen für die Weiterentwicklung von Halbleiterprozessen in mehreren Bereichen sind: Nassreinigung, thermische Glühung sowie Beschichtungs-/Entwicklungsverfolgung.“

Das erste der drei für IBM zu installierenden SCREEN-Geräten ist der Aquaspin SU-3200, der zur Entwicklung hoch selektiver, rückstands- und beschädigungsfreier Anwendungen für Nassreinigungsverfahren bei der Halbleiterherstellung für erweiterte Netzknoten konzipiert wurde, einschließlich 7 nm und mehr. IBM wird außerdem UV-Laserhärtungsanwendungen im Nanosekundenbereich, einschließlich Schmelzaktivierung, Umkristallisation von kritischen Schichten mithilfe des LT-3100 Systemangebots von Laser Systems und Solutions of Europe (LASSE) SCREENs Niederlassung in Frankreich bewerten. Wir erwarten uns positive Ergebnisse durch die Integration von IBM des DT-3000 DUO Track-Systems zur Verbesserung von Directed Self-Assembly (DSA), Spin-On Dielectrics (SOD) und Einlagebeschichtungen beim Lithographie-Masken-Tool-Set des EUV- Kompetenzzentrums.

Diese drei neuen SCREEN Tool-Sets werden voraussichtlich vor Jahresende in den Reinräumen im Standort IBM Research, Albany Nanotech im Rahmen des SUNY Polytechnic Institute's Colleges of Nanoscale Science and Engineering (CNSE) eintreffen. Diese 300 mm Wafer-Geräte für IBM erweitern SCREENs Präsenz in Albany.

Über IBM Research

Seit über sieben Jahrzehnten hat IBM Research mit mehr als 3.000 Forschern in 13 Labors auf sechs Kontinenten die Zukunft der Informationstechnologie bestimmt. Unter den Wissenschaftlern von IBM Research befinden sich sechs Nobelpreisträger, zehn U.S. National Medals of Technology-Gewinner, fünf U.S. National Medals of Science-Gewinner, sechs Turing Awards-Gewinner, 19 Rekruten der National Academy of Sciences sowie 19 Rekruten der U.S. National Inventors Hall of Fame.
Weitere Informationen über IBM Research finden Sie auf www.ibm.com/research.

Über SCREEN Semiconductor Solutions Co., Ltd.

SCREEN Semiconductor Solutions ist eine Unternehmensgruppe von SCREEN Holdings und übernahm den Geschäftszweig für Halbleiter vom Vorgänger, Dainippon Screen. SCREEN, als einer der zehn führenden Zulieferer der Halbleiterfertigungsbranche, hat sich auf die Herstellung verschiedener Systeme spezialisiert, darunter Wafer-Reinigungsgeräte, Lithographie-Geräte und thermische Glühung.
Weitere Informationen finden Sie auf www.screen.co.jp/eng/spe.

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SCREEN Semiconductor Solutions Co., Ltd.
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speinfo@screen.co.jp


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